Hochflexible Ultraschallanlage für die prozesssichere Endreinigung von Mikrostrukturen

不是粒子大于1µm

Die technologische Weiterentwicklung im Bereich Mikrostrukturen und die Bearbeitung größerer Substrate machten bei der POG Präzisionsoptik Gera ein neues Endreinigungssystem erforderlich. UCM兄弟会的骨架构想完美了. 这家公司, dass sowohl unbearbeitete Wafer als auch strukturierte und beschichtete Substrate gereinigt werden können. Die Sauberkeitsanforderung „不是粒子大于1µm“ wird dabei prozesssicher erfüllt.

1991年，zeiss工厂在格拉被关闭. 前高级员工决定, durch ein Management-Bayout die Tradition der Optikfertigung am Standort Gera zu erhalten und weiterzuentwickeln – die Geburtsstunde der POG Präzisionsoptik Gera GmbH. 现在它拥有140名员工. 他们忙着研发和制造顾客, präzisionsoptische零件, 用途于广泛的光谱探测器和装置. 这些产品来自全球机械制造的客户, 《Messtechnik, 工业Bildverarbeitung, 用药和激光, 中国政府在哪. Andererseits hat sich das Unternehmen als Hersteller standardisierter und kundenspezifischer optischer Mikrostrukturen, 比如Strichplatten, Skalenscheiben, USAF-Testtargets, 微生物和校准仪, 让世界闻名. In diesem Bereich kann POG den gesamten Entwicklungs- und Fertigungsprozess ebenfalls im Haus durchführen. „Die Fertigung der Mikrostrukturen haben wir vor kurzem hinsichtlich der technologischen Möglichkeiten und der Größe der bearbeitbaren Substrate ausgebaut. 结果，这就需要一个新的核清理装置。”, 报道朱巴赫, 党的总裁.

要求最高纯度

Hergestellt werden die optischen Mikrostrukturen überwiegend aus dem Glas B 270 und aus Quarzglas sowie aus keramischen und glaskeramischen Werkstoffen. 一个Endreinigung, 在尘埃中, feinste Reste von Poliermitteln und Fingerabdrücke entfernt werden müssen, erfolgt sowohl bei den unbehandelten Substraten als auch nach der Strukturierung und der Beschichtung. Da auf die Substrate teilweise Strukturen von nur 2 µm aufgebracht werden, Sauberkeitsanforderung:没有粒子大于1µm. Eine Lösung für diese sehr anspruchsvollen Reinigungsaufgaben hat POG gemeinsam mit einem externen Berater entwickelt und mit verschiedenen Anlagenherstellern besprochen.

应有灵活的烤漆而且受过严格的训练

„Es handelte sich dabei um unterschiedliche Reinigungskonzepte für spezielle Anwendungen wie beispielsweise die Maskenreinigung oder die Reinigung einer bestimmten Substratkonfiguration in der Halbleiterindustrie. Um unsere Aufgaben zu erfüllen, hätten wir vermutlich drei verschiedene Anlagen benötigt. 我们找过UCM公司. Von diesem Anlagenhersteller haben wir bereits ein Reinigungssystem im Haus und auch unser Berater hatte aus anderen Projekten gute Erfahrungen mit dem Unternehmen“, 扬·舒巴赫对我们说. Gemeinsam mit POG und dem Berater überarbeitete die schweizerische UCM AG, 西非经共体团体的公司, 她符合她的剧本. „UCM ist dabei sehr flexibel auf unsere Vorschläge eingegangen und hat die eigenen umfangreichen Erfahrungen im Bau von Reinigungsanlagen für den Optikbereich eingebracht“, 经理想起.

Die Ultraschallreinigungsanlage verfügt über insgesamt elf Stationen, davon sind sieben Tauchbecken. 它们的设计就是这样注满了水, 电动波清洗(40和80千米), 超音速清洗, 冲水, Feinspülen, 请使用密封搬动装置使红外线干燥.

Die Nassbeladung sowie alle Reinigungs- und Spülprozesse werden mit VE (vollentsalztem)-Wasser durchgeführt. Je nach Reinigungsprogramm wird das Wasser der 冲水 in Kaskade geführt, 已荒废，或已分开保存. 这有助于完成毛料清洁, 同样的，UCM设计的所有池都有四侧溢出. Das Reinigungs- beziehungsweise Spülmedium wird von unten in die Wannen eingebracht, 七、八、三. Dadurch werden abgereinigte Kontaminationen sofort aus den Becken ausgetragen. Dies verhindert zum einen eine Rückkontamination der Teile beim Herausnehmen sowie die Bildung von Schmutznestern in den Becken. 也没有错.

水槽是一个特别的地方. Hier wird das Wasser mit so hohem Druck in das Becken gepumpt, dass sich Turbulenzen bilden. 这些在最近的货物运动中足够了, 没有超声波辅助便基. Um auf zukünftige höhere Anforderungen schnell und einfach reagieren zu können, wurden eine spätere Integration von Ultraschall anlagen- und steuerungstechnisch vorbereitet.

洁净室的全自动清洁

净化设备被嵌入一个洁净房间. 清洁工, bis zehn Zoll großen Substrate werden in speziellen Kassetten manuell in die Transportgestelle der Anlage eingesetzt. Der Mitarbeiter wählt dann das entsprechende teilespezifische Reinigungsprogramm aus. 它被转移到工地, welche Stationen jeweils angefahren werden und die Behandlungsparameter in den einzelnen Becken wie beispielsweise Leistung und Frequenz des Ultraschalls sowie Verweilzeit. Damit die definierte Behandlungsdauer in der jeweiligen Station exakt eingehalten wird, ermöglicht die flexible Steuerung die Eingabe von „priorisierten Zeiten“. „Wir arbeiten momentan mit zehn Programmen für die unterschiedlichen Substrate und erzielen bei allen Reinigungsaufgaben hervorragende Ergebnisse, 一切都从头开始. Das Reinigungssystem arbeitet seit der Übergabe im März 2015 einwandfrei. Auch die bei so komplexen Anlagen sonst üblichen Kinderkrankheiten sind nicht aufgetreten“, 评价简·舒巴赫的情况.

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